设备名称：霍尔效应测试仪

设备型号：HMS-5000（ECOPIA）

主要功能：可用于测量半导体材料的载流子浓度、迁移率、电阻率、霍尔系数、导电类型等重要参数

设备主要参数：

磁场强度：0.5T永久磁体；

温度：优于80-325k；

迁移率：优于1-10^7cm2/VS;

载流子浓度：优于10^7-10^21cm-3;

电阻范围：10mΩ-10GΩ

电阻率：优于10-5-10^7Ω.cm